法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G05D1/08 申请日:20190621
实质审查的生效
2019-08-20
公开
公开
机译: 连接机构的旋转中心位置确定方法,联接机构的旋转中心位置确定程序,旋转体的最大压力载荷确定方法和旋转体的最大压力载荷确定程序
机译: 耦合机构,基板抛光装置,确定耦合机构的旋转中心的位置的方法,确定耦合机构的旋转中心的位置的程序,确定旋转体的最大挤压载荷的方法以及确定旋转体的最大挤压载荷的程序
机译: 耦合机构,基板抛光装置,确定耦合机构的旋转中心的位置的方法,确定耦合机构的旋转中心的位置的程序,确定旋转体的最大挤压载荷的方法以及确定旋转体的最大挤压载荷的程序