一种提高离子注入剂量控制精度的方法和系统

摘要

本发明公开了一种提高离子注入剂量控制精度的方法和系统，其中，所述方法包括：获取束流束斑的径向分布；根据所述束斑的径向分布，计算束斑质心到靶盘中心的距离，即束斑的质心值R；根据公式计算靶盘径向扫描速度V；驱动所述靶盘以所述径向扫描速度V做径向扫描，同时驱动靶盘旋转做圆环扫描。本发明实施例利用束斑质心到靶盘中心的距离代替束斑中心到靶盘中心的距离计算靶盘径向扫描速度V，克服了束斑分布的变化带来的注入剂量不稳定的问题，实现注入剂量的高精度控制。