公开/公告号CN110098118A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-06
原文格式PDF
申请/专利权人 奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司;
申请/专利号CN201910081548.6
申请日2019-01-28
分类号
代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王晖
地址 奥地利莱奥本
入库时间 2024-02-19 12:22:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/306 申请日:20190128
实质审查的生效
2019-08-06
公开
公开
机译: 使用SF6-O2蚀刻组合物进行轮廓定制的沟槽蚀刻,其中各向同性和各向异性蚀刻均通过改变氧气量来实现
机译: 通过应用时间调制,在不同的径向气体注入区域中使用不同蚀刻和聚合沉积速率的聚合物蚀刻气体的等离子体蚀刻处理
机译: 对硅酮的高蚀刻速率的各向异性硅蚀刻剂组合物,能够提高硅蚀刻的效率