用于在物理气相沉积腔室中的准直器

摘要

本文提供了准直器和包括所述准直器的处理腔室的实施方式。在一些实施方式中，在基板处理腔室中使用的准直器包括：环；适配器，围绕该环且具有内部环形壁；和多个辐条，从该内部环形壁延伸且在该准直器的中心轴处相交。