公开/公告号CN109923641A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-21
原文格式PDF
申请/专利权人 瓦里安半导体设备公司;
申请/专利号CN201780068648.4
申请日2017-09-20
分类号
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司;
代理人马爽
地址 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号(邮递区号:01930)
入库时间 2024-02-19 12:18:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20170920
实质审查的生效
2019-06-21
公开
公开
机译: 使用固体掺杂源进行等离子体掺杂
机译: 使用固体掺杂源进行等离子体掺杂
机译: 使用固体掺杂源进行等离子体掺杂