电测试探针和使用该电测试探针的测试系统

摘要

提供了一种电测试探针(200)。该电测试探针包括测试棒(210)，管(220)和弹性元件(230)。测试棒(210)具有第一端子(211)和第二端子(212)，第一端子设置成与待测试的功率模块形成接触，第二端子设置成与测试设备连接。测试棒(210)还具有在第一端子(211)和第二端子(212)之间的第一止动件(213)。管(220)具有在内部延伸的止动件(221)。管(220)沿测试棒(210)的纵向方向安装在测试棒(210)周围。弹性元件(230)容纳在测试棒(210)的第一止动件(213)与管(220)的在内部延伸的止动件(221)之间。管(220)和测试棒(210)可以在弹性元件(230)的弹性范围内具有相对运动。测试棒(210)的横截面的面积远大于弹性元件(230)的横截面的面积。还提供了一种功率模块测试系统(600)，其包括至少一个电测试探针(200)。