蓝宝石斜切衬底优化氧化镓薄膜生长及日盲紫外探测器性能的方法

摘要

本发明提供了一种蓝宝石衬底表面斜切氧化镓探测器及其制造方法，以及氧化镓薄膜的制造方法。所述的探测器包括依次叠置的衬底、氧化镓薄膜和电极，其中氧化镓薄膜为β‑Ga2O3薄膜，衬底为Al2O3衬底。通过对Al2O3衬底进行不同角度斜切处理，能够增强光电探测器的性能。本发明的工艺可控性强、容易操作。本发明制得的氧化镓薄膜表面致密、厚度稳定均一，适于大面积制备、且复性好。本发明制得的光电探测器响应度高、暗电流小、紫外可见抑制比高、制造工艺简单，且所用材料容易获得。