一种悬浮转子MEMS微陀螺

摘要

本发明公开了一种悬浮转子MEMS微陀螺，包括上定子、下定子、周边结构、转子、径向悬浮电极、轴向悬浮电极、导电环、旋转电极，所述上定子上设置有所述轴向悬浮电极，所述轴向悬浮电极旁边内设置有轴向检测电极对，所述轴向悬浮电极上方设置有连接柱，所述连接柱上方设置有所述导电环。有益效果在于：本发明利用电荷驰豫，通过定子表面旋转电压行波，在转子上感应出滞后的电压行波，进而带动转子恒高速转动，不需要转速检测既可以实现转子恒高速转动，通过悬浮电极实现转子的稳定悬浮，同时能够收集多余动能转化为势能，使动能充分利用，整个器件采用MEMS微加工技术制成，易于实施。具有尺寸小，重量轻，成本低，精度高，低功耗的特点。