悬浮转子式MEMS微陀螺的研究概况

摘要

悬浮转子式微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量角速度和线加速度.目前研究的悬浮转子式微陀螺可分为静电悬浮转子微陀螺和磁悬浮转子微陀螺,其中磁悬浮转子微陀螺包括电磁悬浮Al转子微陀螺、电磁悬浮软磁转子微陀螺和静磁悬浮永磁转子微陀螺.就国内外关于悬浮转子微陀螺研究的各种结构及其工作原理、工艺和性能特点进行了概述.指出这一新颖MEMS陀螺是高精度、多轴集成微惯性传感器发展的一个重要方向,具有广阔的应用前景和较大的发展潜力.