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悬浮转子式微陀螺的研究

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利用二组数个独特的平面线圈产生的电磁感应力和静电驱动力,能使微小转子浮起与稳定,并借助于移相电路使转子转动,加上集成在二组平面线圈之间的4个电容传感电极构成了悬浮转子二自由度微陀螺.本文作者阐述了该微陀螺的原理、构成及难点.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|364-365|共2页
会议地点重庆
作者
陈文元; 吴校生; 张卫平; 赵小林; 陈晓梅;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;
关键词
悬浮; 静电力; 微陀螺; 耦合电磁场; 微加工;
入库时间 2022-08-17 10:21:38

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