公开/公告号CN110095490A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-06
原文格式PDF
申请/专利号CN201910309783.4
申请日2019-04-17
分类号
代理机构北京三聚阳光知识产权代理有限公司;
代理人李静
地址 100124 北京市朝阳区平乐园100号
入库时间 2024-02-19 12:04:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/2202 申请日:20190417
实质审查的生效
2019-08-06
公开
公开
机译: 一种模拟半导体器件的电特性的方法和一种用于模拟半导体器件的电特性的输入数据生成设备
机译: 一种用于修改多个辐射束特性的组件,光刻设备,一种用于修改多个辐射束特性的方法以及一种器件制造方法
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