氢气或氦气的精制方法和氢气或氦气的精制装置

摘要

利用使用填充有吸附剂的吸附塔(10A～10C)进行的PSA法，从含有挥发性芳香族化合物作为杂质且含有氢气或氦气作为主要成分的原料气体精制氢气或氦气的方法，针对吸附塔(10A～10C)各自重复进行包括吸附工序、减压工序、脱附工序和清洗工序的循环。各吸附塔(10A～10C)在吸附塔内的原料气体流动方向上从上游侧向下游侧依次划分为第一区域、第二区域和第三区域。第一区域填充有相对于吸附剂的全部填充容量的填充比率为15～75vol％的硅胶系第一吸附剂(131)。第二区域填充有填充比率为15～75vol％的沸石系第二吸附剂(132)。第三区域填充有填充比率为5～30vol％的活性炭系第三吸附剂(133)。