氢气或氦气的精制方法、以及氢气或氦气的精制装置

摘要

利用使用填充有吸附剂的吸附塔(10A～10C)进行的PSA法，从含有烃气体或挥发性烃中的至少一者作为杂质且含有氢气或氦气作为主要成分的原料气体中精制氢气或氦气的方法，重复进行包括吸附工序、减压工序、脱附工序和清洗工序的循环。各吸附塔在吸附塔内的原料气体的流动方向上从上游侧向下游侧依次划分为第一区域、第二区域和第三区域。在第一区域填充有相对于吸附剂的全部填充容量的填充比率为15～65vol％的范围的硅胶系的第一吸附剂(131)。在第二区域填充有填充比率为10～50vol％的范围的活性炭系的第二吸附剂(132)。在第三区域填充有填充比率为25～75vol％的范围的沸石系的第三吸附剂(133)。