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公开/公告号CN109964303A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-02
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201780071488.9
发明设计人 伟民·郑;勇·曹;丹尼尔·李·迪尔;慧雄·戴;科伊·潘;克里斯托弗·恩加伊;汪荣军;唐先明;
申请日2017-11-16
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 11:41:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20171116
实质审查的生效
2019-07-02
公开
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