公开/公告号CN110030918A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-19
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社荏原制作所;
申请/专利号CN201811599497.8
申请日2018-12-26
分类号G01B7/06(20060101);B24B37/013(20120101);B24B49/10(20060101);
代理机构31300 上海华诚知识产权代理有限公司;
代理人肖华
地址 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
入库时间 2024-02-19 11:32:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-19
公开
公开
机译: 涡电流传感器,研磨装置,镀敷装置,研磨方法,镀敷方法
机译: 研磨装置,研磨方法和计算机可读记录介质
机译: 研磨装置和使用该研磨装置的磁记录介质的制造方法