一种基于刚度补偿的MEMS闭环加速度计

摘要

本发明公开了一种基于刚度补偿的MEMS闭环加速度计，包括：关于加速度计中心对称的上半部分和下半部分，上半部分和下半部分均包括：基片，锚点固定在基片上，基片上设有绝缘层，绝缘层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：敏感质量块、支撑梁、力反馈梳齿单元、检测梳齿单元、刚度补偿单元；上半部分和下半部分的敏感质量块上均设有第一镂空区域和第二镂空区域；第一镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、检测梳齿单元锚点、检测梳齿单元；第二镂空区域内安装有：支撑梁锚点、支撑梁、力反馈梳齿单元、力反馈梳齿单元锚点、刚度补偿单元、刚度补偿单元锚点；通过对加速度计刚度补偿结构的设计可以补偿工艺加工造成的机械刚度偏大的问题。