A combined modulated feedback and temperature compensation approach to improve bias drift of a closed-loop MEMS capacitive accelerometer

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• 来源
  《浙江大学学报（英文版）（C辑：计算机与电子）》 |2015年第6期|497-510|共14页
• 作者

  Ming-jun MA; Zhong-he JIN‡; Hui-jie ZHU;

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• 作者单位

  Micro-Satellite Research Center Zhejiang University Hangzhou 310027 China;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 半导体集成电路（固体电路）;
• 关键词