一种铁电膜宏/微观结构与电学性能联合测试系统

摘要

本发明属于仪器仪表技术领域，具体为基于原子力显微镜的铁电膜宏/微观结构和电学性能联合测试系统。本发明系统包括分立设备：原子力显微镜、锁相放大器、交流信号源、直流信号源、加法电路、数据采集器、电脑；铁电膜上下表面镀有电极，构成顶电极和底电极；本发明系统可同进行测试分析内容包括：铁电膜微结构成像，宏观铁电性能测试分析，微观铁电性能测试分析，微观压电性能测试分析；本发明可用于各类铁电材料的微结构和电性能的关联性研究工作中。