基于光栅剪切干涉的光学成像系统的波像差检测方法

摘要

基于光栅剪切干涉仪的光学成像系统的波像差检测方法，该方法采用的光栅剪切干涉仪系统包含：光学级照明系统、待测光学成像系统、一维衍射光栅版、二维衍射光栅版、二维光电传感器和计算处理单元。一维衍射光栅版和二维衍射光栅版分别置于待测光学成像系统的物面和像面。通过采集0、π/2、π、3π/2及N组α，π‑α、2π‑α相移的干涉图(其中，s为光栅剪切干涉仪系统的剪切率)，配合一定的剪切相位提取算法，消除所有高阶衍射级次光对剪切相位提取精度的影响，最终提高了待测光学成像系统的波像差检测精度。该方法具有剪切相位提取精度高、可测的数值孔径范围大、光栅干涉仪的剪切率可调等优点。