法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-14
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):G01J1/42 申请公布日:20190521 申请日:20190221
发明专利申请公布后的撤回
2019-06-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J1/42 申请日:20190221
实质审查的生效
2019-05-21
公开
公开
机译: 一种形成微表面结构的方法以及用于生产微机电部件,微表面结构以及具有这种结构的记忆体部件的方法
机译: 一种形成微表面结构的方法以及用于生产微机电部件,微表面结构和具有这种结构的被致动部件的方法
机译: 能够对结构表面进行改性以使其具有出色的涂层稳定性,耐用性和表面改性程度的微流控芯片通道的选择性表面改性方法,以及一种使用微流控方法制造的制造方法