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公开/公告号CN109742074A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-10
原文格式PDF
申请/专利权人 复旦大学;
申请/专利号CN201811539681.3
发明设计人 张卫;陈琳;孙清清;
申请日2018-12-17
分类号H01L27/108(20060101);H01L21/8242(20060101);H01L29/16(20060101);
代理机构31200 上海正旦专利代理有限公司;
代理人陆飞;陆尤
地址 200433 上海市杨浦区邯郸路220号
入库时间 2024-02-19 10:19:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/108 申请日:20181217
实质审查的生效
2019-05-10
公开
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