一种用于蚀刻均匀性分析的测试板及方法

摘要

本发明公开了一种用于蚀刻均匀性分析的测试板及方法，所述测试板是平板，所述平板的尺寸与待测板的尺寸相同，在所述平板上短边的3/130、5/104、5/52、1/2、47/52、99/104、127/130的以上长度位置处均沿平板的长边方向设置一列共十个通孔，且每一列中的十个通孔依次位于平板长边的3/155、5/124、5/62、77/310、129/310、181/310、233/310、57/62、119/124、152/155的以上长度位置处。本发明测试板依据蚀刻时的水池效应来设计取测量点的通孔，不仅可以提高蚀刻均匀性的检测与分析效率，并大大提高了蚀刻均匀性分析结果的准确性。