一种耐高低温红外光学窗口片的制造方法

摘要

本发明涉及一种耐高低温红外光学窗口片的制造方法，包括基板、增透膜、耐高温膜和隔层；所述基板两侧分别沉积有增透膜，增透膜设置有4层，每层厚度为40nm，增透膜为HfON膜，其材料为乙烯基倍半硅氧烷；在所述基板处于常温的一侧还沉积有耐高温膜，耐高温膜材料为气态硅氧烷；包括：(1)清洗预处理：用去污剂清洗锡箔纸去油后用清水清洗，然后用酒精清洗并晾干；之后清洗基板，将基板放置在酒精中超声波清洗10min，然后用去离子水反复冲洗后吹干......等7个步骤；本发明采用双层镀膜结构，用隔层将窗口片及增透膜和耐高低温膜密封，使得窗口片与低温环境隔离，可避免窗口结霜，同时增透膜能增加透光率，增大成像的清晰度，进一步保证实验的成功率。