公开/公告号CN109839129A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-04
原文格式PDF
申请/专利权人 精工爱普生株式会社;
申请/专利号CN201811406098.5
申请日2018-11-23
分类号G01D11/00(20060101);G01C19/56(20120101);G01P1/00(20060101);H01L23/48(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人邓毅;刘畅
地址 日本东京都
入库时间 2024-02-19 10:10:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-04
公开
公开
机译: 传感器单元,制造传感器单元的方法,惯性测量装置,电子设备和移动体
机译: 物理量传感器,物理量传感器的制造方法,复合传感器,惯性测量单元,便携式电子设备,电子设备和移动体
机译: 物理量传感器,复合传感器,惯性测量单元,移动电子设备,电子设备,移动体以及物理量传感器制造方法