电子束扫描机台电子束孔径动态调整结构及测试方法

摘要

本发明公开了一种电子束扫描机台电子束孔径动态调整结构，对晶圆的缺陷进行扫描，所述电子束孔径调整结构包含有多个围成圆形的弧形挡片，中心形成供电子束通过的孔径，中心的孔径能进行大小无级调节。所述电子束扫描机台电子束孔径动态调整结构的测试方法，机台内置扫描程序，在正式扫描前，在通过对晶圆的特定区域进行预扫描，寻找到最佳的扫描条件，以达到最好的扫描效果，形成一标准图像数据，记录其解析度；然后启动扫描程序，晶圆载入机台先运行预扫描程序，在预设区域得到解析度，然后跟标准图像数据的解析度进行比对，出现一定偏差时，机台自动调整电子束孔径大小，直到解析度与标准图像数据的解析度接近，实现动态调整解析度。