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机译:电子束孔径角对高长宽比结构的关键尺寸扫描电子显微镜测量的影响
Hitachi Ltd., Kokubunji-shi, Tokyo, Japan,Hitachi High-Technologies Corporation, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki, Japan;
Hitachi Ltd., Kokubunji-shi, Tokyo, Japan;
Hitachi High-Technologies Corporation, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki, Japan;
Hitachi High-Technologies Corporation, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki, Japan;
Hitachi High-Technologies Corporation, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki, Japan;
Hitachi High-Technologies Corporation, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki, Japan;
Hitachi High-Technologies Corporation, Ichige, Hitachinaka-shi, Ibaraki, Japan;
critical dimension scanning electron microscope; Monte Carlo simulation; high aspect ratio structure; energy-angle selective detection; after-etch inspection;
机译:像差校正扫描透射电子显微镜对石墨烯边缘的Si原子进行电子束处理
机译:像差校正扫描透射电子显微镜对石墨烯边缘的Si原子进行电子束处理
机译:水在纸上的接触角:无滴与环境扫描电子显微镜的测量
机译:电子束孔径角对高长宽比结构的CD-SEM测量的影响
机译:使用扫描隧道显微镜的电子单分子测量。
机译:大孔径显微镜
机译:过滤性能和纳米纤维直径的测定:测量和电子扫描显微镜/过滤性能的影响及纳米纤维直径的测定:测量方法和扫描电子显微镜的影响
机译:连接到Jeol 100C sTEm(扫描透射电子显微镜)的EXELFs(扩展能量损失精细结构)系统的仪器和操作方面