半导体加工设备以及FAB各区的排货方法及系统

摘要

本发明提供一种半导体加工设备及FAB各区的排货方法及系统，排货包括：获取半导体加工设备的所有可跑货物；基于第一排序规则，将可跑货物排序并选取最优级可跑货物，得到第一可跑货物，记录第一可跑货物的制程；于剩余可跑货物中选取与第一可跑货物具有相同制程的货物，得到第二可跑货物；基于第二排序规则将第二可跑货物排序并选取，第一可跑货物及选出的第二可跑货物生成第一加工批次。通过上述方案，本发明的排货方法及系统是分散式的，相对于集中式的，可以减轻系统负担；不需要额外再买大型机器来架设派工服务器，节约成本；FAB各区域派工规则可以单独进行灵活设定，便于维护修改；排货与备货系统结合，提高生产效率，改善生产周期。