基于热成像技术的半导体功率器件动态测试系统及其方法

摘要

本发明属于功率半导体器件测试技术领域，涉及基于热成像技术的半导体功率器件动态测试系统，包括测试电路板、信号发生器和红外热成像仪，用于安装被测器件T的测试电路板与信号发生器连接，所述红外热成像仪的观测窗口对准被测器件T，用于拍摄及显示测试过程中被测器件T的温度分布图像；本发明半导体功率器件动态测试系统能够监测功率器件在测试中任一时间点器件的热分布，通过形成不同时间点的热分布图像，能够获得功率器件测试过程中电流转移的全过程，从而能够了解到器件所有存在的薄弱点；本测试系统能够应用于大多数功率器件，适用性广，对提升器件设计能力、提升产品竞争力有重大意义。