具有内部静电屏蔽的体声波（BAW）滤波器结构

摘要

本公开的实施方案涉及一种具有内部静电屏蔽的体声波(BAW)滤波器结构。在本文公开的示例性方面，屏蔽的BAW滤波器结构包括衬底、在所述衬底上方的多个换能器以及在所述衬底和所述多个换能器的顶部电极之间的平面静电屏蔽体。所述多个换能器中的每一个形成BAW谐振器的一部分并且驻留在包括寄生电容的滤波器中。所述平面静电屏蔽体耦合到接地节点并中断与所述滤波器的所述寄生电容相关联的电场以减小所述寄生电容。因此，与未屏蔽的BAW滤波器结构相比，所述屏蔽的BAW滤波器结构减小了寄生电容的影响力，从而提供改善的滤波性能。