法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-15
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L31/18 申请公布日:20190419 申请日:20181130
发明专利申请公布后的撤回
2019-05-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20181130
实质审查的生效
2019-04-19
公开
公开
机译: 基于周期性光栅化漏极的金属栅极MOSFET太赫兹检测器
机译: 基于MOSFET漏极光栅化的太赫兹检测器的制备方法
机译: 基于MOSFET栅极光栅化的太赫兹检测器的制备方法