光子辐射显微镜样品座、测试方法及显微镜装置

摘要

本发明公开了一种光子辐射显微镜样品座，包括：基板，所述基板上设置有用于承载样品的样品承载区；所述样品承载区内沿垂直方向贯穿所述基板；所述样品承载区内设有透光材质的承载板；金属电极，其设置在所述基板中并沿垂直方向贯穿所述基板；接合线，用于将所述待测样品的扎针区域与所述金属电极电连接。本发明使原有的正/背面探测式EMMI/OBIRCH应用分析设备具有从两面进行分析应用的能力。可更加方便快捷的精确定位缺陷位置。