可光固化的聚合物、可光固化的聚合物组合物和包括其的光刻工艺

摘要

本发明涉及官能化的聚(芳醚砜)聚合物。本发明进一步涉及包括官能化的聚(芳醚砜)聚合物的聚合物组合物。还进一步地，本发明涉及形成结合了前述聚合物组合物的三维(3D)物体的光刻方法。