一种用于晶圆加工中的环保型底材

摘要

本发明公开了一种用于晶圆加工中的环保型底材，涉及晶圆加工领域，要解决的是晶圆加工的纵向横向扩张不均匀、晶圆切割时有塑胶丝污染晶圆等问题。本产品包括上层、中层和下层，所述上层的下表面与中层的上表面相贴合，中层的下表面与下层的上表面相贴合，上层、中层和下层采用三层共挤的工艺制作，上层、中层和下层均采用聚乙烯和聚丙烯的共聚物制作。本产品设计合理，通过在上层和中层使用聚乙烯及聚丙烯的共聚物,既可以改善聚乙烯因软化点低造成丝状物的污染,亦可改善聚丙烯不具柔软性；本产品采用三层共挤的生产方法,精密的控制生产条件,采用流延的生产方法可以使得生产出的UV膜纵向及横向扩张(延伸)均匀，使用效果好。