脉冲光生成装置、脉冲光生成方法、具备脉冲光生成装置的曝光装置及检查装置

摘要

本发明能够获得抑制波长光谱的扩大并被放大了的高强度脉冲光。脉冲光生成装置构成为包括：第1光纤，其供第1脉冲光和第2脉冲光在合波后入射并在内部传播，其中，所述第2脉冲光在所述第1脉冲光的强度增大时强度减小，而在所述第1脉冲光的强度减小时强度增大；以及第2光纤，其接收从所述第1光纤射出的所述第1脉冲光而在内部传播并放大，在所述第1光纤中，因来自所述第2脉冲光的交叉相位调制而在所述第1脉冲光中产生相位调制，在所述第2光纤中在所述第1脉冲光产生的自相位调制因在所述第1光纤中产生的相位调制而被抵消。