一种散射式低温扫描近场光学显微镜

摘要

本发明公开了一种散射式低温扫描近场光学显微镜，包括冷台、设置于冷台底部的样品扫描平台和探针扫描平台、抛物面镜平台以及底座，所述样品扫描平台包括扫描台，扫描台上设置有弹性夹片和样品架，样品架可插拔的夹于扫描台和弹性夹片之间以便于更换样品；所述探针扫描平台位于样品扫描平台相对一侧，包括连接于冷台底部的针尖耦合提取平台和针尖托，针尖托上固定有探针，针尖托以磁吸式连接于针尖耦合提取平台并且与扫描台相对以便于更换探针对样品进行扫描；所述抛物面镜平台设置于底座上以会聚外部激光于探针处并收集带有样品信息的散射光于外部探测器。本发明可以同时实现原位换探针和换样品，操作简单兼容性强。