检查辅助具、具备所述辅助具的基板检查装置及检查辅助具的制造方法

摘要

本发明的检查辅助具是用以使探针Pr接触设于作为检查对象的基板的检查点的检查辅助具，检查辅助具包括：检查侧支撑体，是具有相对向板51，所述相对向板51是设有与所述基板相对向而配置的相对向面F；以及电极侧支撑体6，是具有支撑板61至支撑板63，所述支撑板61至支撑板63是与位于所述相对向板51的与所述相对向面F为相反侧处的电极板9相对向而配置；支撑板61至支撑板63是设有插通并支撑探针Pr的后端部的探针支撑孔23，所述探针支撑孔23是相对于与相对向板51的相对向面F正交的方向的基准线Z，沿着以一定角度θ倾斜的支撑线V而形成，并且具备限制所述探针Pr的后端部往与所述支撑线V的倾斜方向正交的方向移动的限制面。