公开/公告号CN109192646A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 德淮半导体有限公司;
申请/专利号CN201811056894.0
申请日2018-09-11
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构31291 上海立群专利代理事务所(普通合伙);
代理人杨楷;毛立群
地址 223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
入库时间 2024-02-19 08:29:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20180911
实质审查的生效
2019-01-11
公开
公开
机译: 植入过程中离子植入机和植入离子束的程序
机译: 植入过程中离子植入机和植入离子束的程序
机译: 用等离子表面处理植入物的方法,用相同的方法制造的等离子植入物和用于等离子表面的等离子体处理的装置。