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机译:植入过程中离子植入机和植入离子束的程序
公开/公告号AT157481T
专利类型
公开/公告日1997-09-15
原文格式PDF
申请/专利权人 ADVANCED MICRO DEVICES INC.;
申请/专利号AT19950301339T
发明设计人 LE VAN;FRIEDE DONALD L.;DOLMAN DENVER L.;
申请日1995-03-02
分类号H01J37/147;H01J37/317;
国家 AT
入库时间 2022-08-22 03:24:23
机译: 植入过程中离子植入机和植入离子束的程序
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