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公开/公告号CN109509753A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学;
申请/专利号CN201810585371.9
发明设计人 马静;马吉;南策文;刘晨;王静;陈明凤;
申请日2018-06-08
分类号H01L27/11507(20170101);G11C11/22(20060101);
代理机构11245 北京纪凯知识产权代理有限公司;
代理人关畅
地址 100084 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室
入库时间 2024-02-19 08:20:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/11507 申请日:20180608
实质审查的生效
2019-03-22
公开
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