一种电子束物理气相沉积微米多层复合膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种电子束物理气相沉积微米多层复合膜，包括金属过渡层和陶瓷层，陶瓷层为9wt％Y2O3稳定的ZrO2；金属过渡层为镍基合金。其制备方法为，首先，对20CrNi3A基板进行预处理，之后清洗实验设备，将基板表面抛光，并在丙酮中超声波清洗，将NiCoCrAl靶材和YSZ靶材分别放置于两个坩埚内，再将基板加热至500℃，预热时间为60min，同时将真空度调至10‑3～10‑2Pa，最后，采用两把电子枪交替蒸发NiCoCrAl靶材和YSZ靶材沉积微米多层复合膜。采用本方法制备的膜层均匀致密，具有较低的摩擦系数及高的耐磨性。