基于双重最小二乘支持向量机的固化热过程时空建模方法

摘要

本发明公开了基于双重最小二乘支持向量机的固化热过程时空建模方法，步骤一，搭建芯片固化炉温度控制平台，步骤二，得到芯片固化炉在固化工作状态下的温度分布随时间变化的时空数据，步骤三，上位机通过PCA算法(即主成分分析算法)学习一组表征空间非线性特征的空间基函数。用于在线预测和控制芯片固化炉的热过程，使用两个最小二乘支持向量机(LS‑SVM)串联构成双重LS‑SVM模型模拟包含两个固有耦合非线性的分布式参数系统，在两个耦合非线性的性能近似方面更有效，并且模型精度高。