使用多机器学习核的光刻热点检测

摘要

热点检测系统根据热点训练数据的拓扑将热点训练数据集分类成多个热点簇，其中热点簇与不同的热点拓扑相关联，并且热点检测系统根据非热点训练数据的拓扑将非热点训练数据集分类成多个非热点簇，其中非热点簇与不同的拓扑相关联。该系统从热点簇并且从非热点簇的形心中提取拓扑关键特征和非拓扑关键特征。该系统还创建被配置为识别热点的多个核，其中使用所提取的非热点簇的形心的关键特征以及从热点簇中的一个热点簇所提取的关键特征来构造每个核，并且每个核被配置为识别与其他核被配置用于识别的热点拓扑不同的热点拓扑。