基于深度学习的电路版图光刻热点检测技术

目录

第1章 绪 论

1.1引言

1.2光学邻近效应

1.3版图热点及其影响

1.4国内外研究现状

1.5本文的主要工作

1.6本文组织结构

1.7本章小结

第2章 基础研究

2.1卷积神经网络

2.2基于光刻仿真的热点检测技术

2.3基于模式匹配的热点检测技术

2.4基于机器学习的热点检测技术

2.5本章小结

第3章 基于深度学习的热点检测方法

3.1引言

3.2基于CNN的热点检测框架

3.3训练样本预处理

3.4 CNN网络结构模型

3.5批量梯度下降算法

3.6改进的损失函数计算方法

3.7批量偏好学习算法

3.8本章小结

第4章 实验结果与分析

4.1引言

4.2热点检测模型性能评价指标

4.3实验环境与实验样本

4.4实验结果

4.5本章小结

结论

1. 总结

2.研究展望

参考文献

附录A 攻读学位期间发表的学术论文

致谢