机译:高性能光刻热点检测,具有连续改进的模式识别和机器学习功能
Department of Electrical and Computer Engineering, University of Texas at Austin, Austin, TX, USA;
Lithography hotspot detection; machine learning; manufacturability/yield; pattern classification;
机译:基于主成分分析-支持向量机分类器的分层数据聚类精确光刻热点检测
机译:光刻热点检测与基于FFT的特征提取和不平衡的学习率
机译:使用机器学习模型的光刻测试模式的合成
机译:使用分层改进的机器学习进行高性能光刻热点检测
机译:使用基于模式的集群对IC热点进行自动分类和检测。
机译:利用连续投影算法和机器学习分类器对症状进行烟草前症状检测的高光谱成像
机译:通过低能电子束光刻直接图案化化合物半导体薄氧化层,用于连续选择性区域生长
机译:热点模式:建筑气味的形式定义和自动检测。