法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N33/38 申请日:20181009
实质审查的生效
2019-01-11
公开
公开
机译: 冷却和/或冷冻装置,具有用于检测装置周围的周围强度并产生强度信号的强度传感器元件,以及用于基于移动和强度信号来操作照明单元的控制元件。
机译: 基于荧光波长的光强度饱和度的测量相对于预定波长的光强度的生物污染物的光学检测装置
机译: 用于微光刻投影照明系统的照明光学器件,具有位置和时间溶解检测装置,其布置成使得该装置基于平面中的光强度分布来检测光强度分布。