一种两步法制备柔性氧化钒薄膜的方法

摘要

一种氧化钒复合薄膜的制备方法，包括，步骤一，在衬底上形成耐高温柔性材料薄膜，以形成基片；步骤二，在所述基片上的所述柔性材料上形成氧化钒前驱体薄膜；步骤三，对形成有所述氧化钒前驱体薄膜的基片进行高温退火，形成具有氧化钒薄膜的复合薄膜。上述制备方法制备过程简单且容易控制，为柔性氧化钒器件的制备奠定了基础；同时上述制备方法获得的复合柔性薄膜表面均匀、结构致密、成膜质量好、结晶良好，且氧化钒与聚酰亚胺结合紧密，不易脱落。