溅射制备纳米复合相氧化钒柔性薄膜的方法及薄膜

摘要

本发明公开了一种溅射制备纳米复合相氧化钒柔性薄膜的方法及得到的纳米复合相氧化钒柔性薄膜，预先通过反应溅射法在柔性衬底上沉积非晶态氧化钒薄膜，得到非晶氧化钒薄膜样品，然后将其在空气气氛中快速退火制备出纳米复合相氧化钒柔性薄膜。本发明制备的纳米复合相氧化钒柔性薄膜具有较高的可见光透过率和太阳光能量调制幅度，同时本制备方法设备依赖性低，操作简单，成品周期短，适用于工业化生产基于柔性衬底的氧化钒热致变色材料。