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氧化钒薄膜制备方法专利技术分析

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摘要

氧化钒由于其独特的光电性能在红外探测器、光电调节器、智能窗、光存储及传感器等应用领域备受关注.对制备氧化钒薄膜采用的专利技术进行了梳理,对日后氧化钒薄膜的制备及性能优化具有很好的指导意义.

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来源
《云南化工》 |2019年第5期|144-145|共2页
作者
Yuan Xia; Wang Yanqiang;
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作者单位

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正文语种 chi
中图分类 T18;
关键词
氧化钒薄膜; 磁控溅射;

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