一种制备高电导深紫外透明导电薄膜的新策略:两步法

摘要

本文通过多步骤热力学方法,实现了具有高电导的深紫外透明导电Al:Mg0.43Zn0.57O薄膜制备.该深紫外透明导电薄膜电导率达406.6S·cm-1.研究工作首次证实了,具有高电导性深紫外MgZnO薄膜(Mg＞40％)是能够被制备.同时,文中提出的多步骤热力学方法,将为制备高质量深紫外发光材料提供一种新思路.