用于旋涂多层薄膜的具有液体保存特征的方法和系统

摘要

一种在形成薄膜时用于保留旋涂流体的系统，该系统包括：可旋转卡盘；在可旋转卡盘上的基底，该基底具有内部区域和外周界边缘；以及在基底的外周界边缘上的流体保留壁，该流体保留壁配置为在可旋转卡盘的旋转期间保留沉积在基底的内部区域上的旋涂流体。